潔凈凈化廠房靜電測試

潔凈凈化廠房內(nèi)往往存在著不容忽視的靜電，是導(dǎo)致電子器件、電子儀器和設(shè)備損壞或性能下降的重要因素之一，對芯片制造影響尤為嚴重。此外還是潔凈凈化廠房在生產(chǎn)過程中有特殊氣體或粉塵產(chǎn)生導(dǎo)致存在影響，潔凈凈化廠房靜電對塵埃的吸附效應(yīng)也造成生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品各個壁面的塵埃聚集影響潔凈凈化廠房的環(huán)境和產(chǎn)品被污染。

1.相關(guān)的規(guī)范規(guī)定

潔凈凈化廠房相關(guān)規(guī)范對靜電防護問題從設(shè)計到運行都有具體的規(guī)定。例如，潔凈凈化廠房設(shè)施應(yīng)該選用那些既不會產(chǎn)生也不能蓄積大量靜電的建筑材料，為保護對靜電敏感的設(shè)備、器件，地面電阻應(yīng)該在R_E=10⁴?~10⁷?范圍內(nèi)，表面聚集電荷的限定值應(yīng)小于2kV等。

國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定：潔凈凈化廠房地面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能并應(yīng)保持長時間穩(wěn)定，其地面表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，其表面電阻應(yīng)為1.0×10⁵~1.0×10¹²?或體積電阻率為1.0×10⁴~1.0×10¹¹?·cm。地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對地泄放電阻應(yīng)為1.0×10⁵~1.0×10⁹?等。不同標準在具體限值的數(shù)量上或略有差異，測試前宜與業(yè)主商定達標的限值。

2.靜電測試方法

靜電測試通常包括兩部分內(nèi)容：一是靜電測試本身，其目的是掌握產(chǎn)品表面上的靜電電荷和地面、工作臺面或其他設(shè)施的靜電電壓的耗散率；二是離子生成器測試，其目的是通過監(jiān)測器測量初始充電的放電時間，和通過測定隔開來的監(jiān)測板的補償電壓來評估其性能。上述兩部分測量結(jié)果都能反映清除或中和靜電荷的效率和產(chǎn)生的正負離子量間的不穩(wěn)定性。

3.表面電壓水平的測量

通常采用靜電壓計或場強計測定設(shè)備和產(chǎn)品表面的正負靜電荷，具體方法是把靜電電壓計或場強計的輸出調(diào)節(jié)為0，按儀器說明書規(guī)定，讓探測器面朝接地的金屬板，探測頭保持使測孔平行于所規(guī)定的某個距離處放置的板，記錄靜電壓計的讀值。

4.靜電耗散性的測量

通過測量表面上不同位置之間的電阻---表面電阻和表面和地面之間的電阻---漏電電阻來評定靜電耗散特性，一般采用高阻歐姆計來測量。

采用有足夠重量和尺寸適當?shù)碾姌O來測量表面電阻和漏電電阻。測量表面電阻時，要注意電極位置與表面保持正確的距離。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、凈化廠房的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

5.離子生成器測試

本項測試的目的是用以評估雙級離子生成器的性能，測試內(nèi)容為測試放電時間和補償電壓，放電時間將用以計算離子生成器消除電荷的效率，補償電壓將用以評估在離子生成器生成的離子化氣體中正負離子的不穩(wěn)定性。離子的不穩(wěn)定性會造成不利的殘余電壓。

測量工作由稱之為“充電板監(jiān)測器”的設(shè)備完成，該設(shè)備由導(dǎo)電監(jiān)測板、靜電電壓計、計時器和電源等構(gòu)成。

6.放電時間的測量

采用已知電容，例如20pF的絕緣導(dǎo)電板作為監(jiān)測板，開始時用電源給監(jiān)測板充電并達到已知的正或負電壓，隨后將監(jiān)測板暴露在被評估的雙級離子生成器離子化的氣體中，用靜電電壓計測量板上的靜電荷，同時以計時器配合測量板上電壓隨時間的變化。

放電時間的定義是監(jiān)測板上的靜電荷減少到100%初始電壓所需的時間，由用戶和供應(yīng)商協(xié)商確定作為驗收標準的測試點的位置和測定結(jié)果。

7.補償電壓的測量

采用類似的監(jiān)測板裝在絕緣器上，用靜電電壓計監(jiān)測絕緣板上的電荷，以測量補償電壓。開始時將板接地去除殘余電壓，確認板上的電壓為0，隨后把板放在離子化的氣體中，直到電壓計的指示值達到穩(wěn)定為止，該值即為所測的補償電壓。

至于離子生成器的允許補償電壓取決于工作區(qū)的物體對靜電荷的敏感性，所以允許的補償電壓應(yīng)由用戶與供應(yīng)商協(xié)商確定。

8.測試報告

測試報告需要包括的內(nèi)容應(yīng)有：

(1)儀器使用者或數(shù)據(jù)收集設(shè)備的名稱；

(2)測試儀器的名稱及其校準狀態(tài)；

(3)測試和測量類型和測量條件；

(4)溫度、濕度和環(huán)境數(shù)據(jù)；

(5)測點位置；

(6)潔凈凈化廠房所處的狀態(tài)。

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