凈化潔凈廠房表面潔凈度符合性的規(guī)程

根據(jù)用戶(hù)方的要求，并經(jīng)雙方商定后的凈化潔凈廠房表面潔凈度的符合性，需要經(jīng)過(guò)測(cè)試，并用包括測(cè)試條件和測(cè)試結(jié)果的報(bào)告予以證明。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境某具體場(chǎng)所的表面潔凈度符合性的驗(yàn)證測(cè)試，應(yīng)采取適宜的測(cè)試方法和使用在有效校準(zhǔn)期內(nèi)的合適儀器進(jìn)行測(cè)試。由于情況較復(fù)雜，未知干擾因素較多，宜重復(fù)測(cè)量多次，以給出可靠的結(jié)果。

因靜電作用會(huì)增多表面的粒子沉降或附著，測(cè)試前通常應(yīng)事先采取措施降低測(cè)試區(qū)范圍的靜電荷。如非導(dǎo)電表面也未接地或中和電荷就可能產(chǎn)生靜電電荷，以至可能影響測(cè)試結(jié)果。

1.凈化潔凈廠房表面特性、粒子形狀等影響因素

在確定表面潔凈度分級(jí)測(cè)試方法和相應(yīng)測(cè)量?jī)x器之前，須對(duì)被測(cè)表面的特性以及可能沉降和附著其上的粒子的性狀，都應(yīng)有所了解、分析和判定，這是順利完成測(cè)試工作的必要條件。這些特性的判定技術(shù)，應(yīng)該說(shuō)并非潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境普通工作人員所須掌握的。為做好表面潔凈度分級(jí)測(cè)試工作，需要其他專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員予以支持和幫助。

1.1被測(cè)試表面特性

影響測(cè)試結(jié)果的被測(cè)試表面的物理、化學(xué)特性主要包括：

(1)表面能量狀態(tài)，例如：表面的內(nèi)聚/黏附特性或親水/疏特性。因?yàn)檫@些特性會(huì)影響粒子的吸引和剝離。

(2)表面的孔隙率。一般來(lái)說(shuō)孔隙率越高，表面本身的瑕疵與附著粒子的區(qū)分越困難，而光潔平滑的表面較為簡(jiǎn)單。

(3)表面的粗糙度、波紋度。一般情況下越粗糙、越不平滑的表面，直接探測(cè)粒子較困難，采用間接法時(shí)剝離粒子的效率也受影響。

(4)表面的可清潔性。如果表面本身難以清潔，粒子探測(cè)與表面自身瑕疵的區(qū)分往往復(fù)雜，而易于清潔的表面則容易。

(5)表面光學(xué)特性。若采用直接測(cè)試法測(cè)量時(shí)，待測(cè)表面的不同光學(xué)特性，將產(chǎn)生不同的測(cè)量結(jié)果。因此選取測(cè)量方法時(shí)須關(guān)注表面自有的光學(xué)特性。

(6)表面的電磁特性。表面的靜電特性或磁特性，對(duì)帶靜電和帶磁性的顆粒物可產(chǎn)生吸引作用，影響與其的剝離。

1.2粒子的形狀

(1)粒子本身的外形和電磁特性，可能影響測(cè)量結(jié)果。

(2)粒子形狀的其他影響：如從表面剝離出的長(zhǎng)形粒子和圓形粒子，其光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器的測(cè)值可能相同，但其重力值完全不同。一般長(zhǎng)寬比大于或等于10的粒子認(rèn)作為纖維。

1.3某些表面特性的測(cè)試方法

表面特性是選擇表面潔凈度分級(jí)測(cè)試方法的重要依據(jù)，一般應(yīng)將表面特性的判定結(jié)果反映在潔凈度分級(jí)測(cè)試報(bào)告中，作為輔助說(shuō)明。

(1)粗糙度

表面粗糙度對(duì)表面的許多物理特性都有影響。粗糙度存在兩個(gè)基本平面：表面所在的平面視為“質(zhì)地”，與表面呈直角的平面，其特性可用高度描述。通常以波紋度描述表面粗糙度的特性。

測(cè)定粗糙度常用的光學(xué)方法是使用顯微鏡法(光學(xué)、共聚焦、干涉法等)。測(cè)量粗糙度的機(jī)械方法是使用觸針式儀器?？蓞⒖肌懂a(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu) 輪廓法評(píng)定表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則和方法》。

(2)孔隙率

孔隙率是對(duì)材料內(nèi)中空空間的量度，以0~100%間的百分?jǐn)?shù)表示。總體積中流體能有效地在其中流過(guò)的那部分體積(不包括不相連的空孔洞或空穴)占總體積的比率，稱(chēng)之為有效孔隙率，也稱(chēng)為開(kāi)孔率。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈廠房、凈化車(chē)間的咨詢(xún)、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

直徑≥50nm的孔稱(chēng)為大孔，流體流經(jīng)大孔是以體相擴(kuò)散形式出現(xiàn)的；2nm≤直徑<50nm的孔，稱(chēng)為介孔；直徑<2nm的孔稱(chēng)之為微孔，微孔中的流體運(yùn)動(dòng)屬于活性擴(kuò)散。

測(cè)定孔隙率的方法有：體積/密度法較簡(jiǎn)單。用材料重量除以材料密度，即可得出減去孔的容積后材料所占據(jù)的體積。其精度一般在實(shí)際孔隙率的±20%以?xún)?nèi)，此外還可采用水飽和法、壓汞法。對(duì)于精細(xì)孔隙率還可以采用氮?dú)馕椒ā?/span>

1.4靜電

此處的靜電是指材料表面上電子不平衡產(chǎn)生的電荷。這種電子不平衡產(chǎn)生的靜電場(chǎng)會(huì)影響表面潔凈度的測(cè)定，特別是對(duì)表面粒子采用間接測(cè)量方法時(shí)。測(cè)量待測(cè)表面的靜電放電(ESD)特性，有助于評(píng)估其對(duì)表面粒子剝離影響。

2.凈化潔凈廠房表面潔凈度測(cè)試報(bào)告

各規(guī)定測(cè)試表面的測(cè)量結(jié)果，以綜合報(bào)告的形式提交，并說(shuō)明與要求的表面潔凈度(SCP)等級(jí)相符與否。測(cè)試報(bào)告至少應(yīng)包括以下各項(xiàng)：

(1)基本資料

測(cè)試日期和時(shí)間；

測(cè)試單位的名稱(chēng)，資質(zhì)，地址；

測(cè)試人員姓名，職稱(chēng)。

(2)參照文件

所參照標(biāo)準(zhǔn)、指南、規(guī)定及相應(yīng)的出版編號(hào)。本部分的編號(hào)為：《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)》。

(3)環(huán)境狀況

采樣時(shí)環(huán)境狀況(溫度、濕度、潔凈度等)；

間接法測(cè)量時(shí)環(huán)境條件(溫度、濕度、潔凈度等)；

測(cè)量所在位置(房間等)。

(4)樣本資料

對(duì)測(cè)試對(duì)象的清楚識(shí)別；

對(duì)測(cè)試對(duì)象的詳細(xì)說(shuō)明；

測(cè)試樣本的圖樣和草圖；

測(cè)試方案。

(5)測(cè)試方案的說(shuō)明材料

a.測(cè)量設(shè)備

所采用儀器和裝置的型號(hào)、出廠日期等，及有效期內(nèi)的校準(zhǔn)證書(shū)；儀器的測(cè)量范圍、量程、精度等。

b.測(cè)試工作

所用測(cè)試方法的相關(guān)詳情，對(duì)偏離測(cè)試方法的可用數(shù)據(jù)的說(shuō)明；所測(cè)表面的明確位置和面積，并注明表面具體坐標(biāo)；

采樣前的表面條件(如清潔后，包裝后，處于大氣和真空環(huán)境等)；

規(guī)定的檢測(cè)和測(cè)量步驟、方法；

采樣及測(cè)量期間的室內(nèi)占用狀態(tài)；

所有商定的文件(如原始數(shù)據(jù)，背景粒子濃度，圖片，清潔和包裝)；

使用間接方法時(shí)，采樣持續(xù)時(shí)間、地點(diǎn)和位置；

直接測(cè)量時(shí)持續(xù)的時(shí)間和位置；

測(cè)量或采樣期間值得關(guān)注的觀測(cè)結(jié)果(如適用)；

所進(jìn)行的測(cè)量次數(shù)。

c.測(cè)試結(jié)果與分析

測(cè)量值和對(duì)測(cè)量值的分析；

數(shù)據(jù)質(zhì)量說(shuō)明；

所進(jìn)行的全部測(cè)試結(jié)果，包括給定的粒徑粒子濃度值；

按粒子濃度劃分的表面潔凈度，以SCP N 級(jí)表示；

潔凈度表面的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，如供需雙方事先有約定。

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